DXプラズマプロセス委員会:JSPS日本学術振興会

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(独)日本学術振興会 R052 DXプラズマプロセス委員会 第13回研究会
『半導体中工程/後工程を支えるDXとプラズマ技術』

日 時: 2025年11月26日(水)13:00~17:00
会 場:

東京 ベルサール八重洲 2階

趣 旨:

近年、半導体製造において「中工程」という新たな概念が注目されています。この中工程は、前工程と後工程の間に位置し、半導体製品の高集積化、高速伝送化や、異なる機能を持つチップを立体的に実装することによる高機能化の可能性をにぎる重要な工程であり、日本のプロセス技術や設備技術の強みが発揮できる大きな可能性があります。本研究会では、半導体の中工程と後工程を支えるプラズマ技術とデジタルトランスフォーメーション(DX)に焦点を当てます。特に、中工程には本研究会では、プラズマ技術の最新の研究成果やDXの実践事例を通じて、半導体モノづくりの革新に向けた議論を行います。

プログラム

13:00-13:10

総会
日本学術振興会 R052 DXプラズマプロセス委員会
委員長 東北大学 金子 俊郎

13:10-13:20 趣旨説明
パナソニック インダストリー株式会社 大熊崇文
13:20-14:10 【基礎講座(招待講演)】 
東北大学 福島誉史
「チップレット集積最前線」
14:10-14:25 休憩
14:25-15:05 【招待講演】
パナソニック コネクト株式会社 藤原義彦
「プラズマクリーナーとマシンパラメータを活用した予知保全技術」
15:05-15:45 【招待講演】
三菱マテリアル株式会社 角野知之
「半導体先端パッケージのトレンドと材料技術 角型Si基板のご紹介」
15:45-16:00 休憩
16:00-16:40 【招待講演】
西日本工業大学 有田潔
「西日本工業大学におけるプラズマプロセスDX教育構想のご紹介」
16:40-17:00 企業紹介 (2社,各10分)
17:30-19:30

総合討論

*題目は変更となる可能性があります